Xyθステージ登場　　高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型（高さ35mm）、小型（100mm×100mm）のコンパクトボディのXyθ（アライメント）ステージ　高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立～積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。　100mm×100mmの高精度アライメントステージ～小型ながら繰返し精度±1μmを達成。　旋回中心自由設定　　超薄型シンプル構造と高剛性の両立　高精度な位置決め　旋回中心自由設計　丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能　大形ステー

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高温用センサ　高分解能　非接触計測　優れた温度特性及び安定性

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ビニールカーテン式では不安・満足できないご担当者様に、自信を持ってご提案します！　完全オーダーメイド設計です。　オリジナルアルミフレームにより密閉性、安全性、美観性を追及しました。　天井面のHEPAファンユニットからクリーン化したエアーを送り込む、シンプル構造です。　クラス5～8（クラス100～10,000）対応！　防爆ブースも対応可能

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