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超薄型・小型XYθステージ/XYθZステージ/球面軸受
Xyθステージ登場 高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型(高さ35mm)、小型(100mm×100mm)のコンパクトボディのXyθ(アライメント)ステージ 高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立~積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。 100mm×100mmの高精度アライメントステージ~小型ながら繰返し精度±1μmを達成。 旋回中心自由設定 超薄型シンプル構造と高剛性の両立 高精度な位置決め 旋回中心自由設計 丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能 大形ステー
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超薄型・小型XYθステージ/XYθZステージ/球面軸受
Xyθステージ登場 高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型(高さ35mm)、小型(100mm×100mm)のコンパクトボディのXyθ(アライメント)ステージ 高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立~積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。 100mm×100mmの高精度アライメントステージ~小型ながら繰返し精度±1μmを達成。 旋回中心自由設定 超薄型シンプル構造と高剛性の両立 高精度な位置決め 旋回中心自由設計 丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能 大形ステー
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超薄型・小型XYθステージ/XYθZステージ/球面軸受
Xyθステージ登場 高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型(高さ35mm)、小型(100mm×100mm)のコンパクトボディのXyθ(アライメント)ステージ 高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立~積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。 100mm×100mmの高精度アライメントステージ~小型ながら繰返し精度±1μmを達成。 旋回中心自由設定 超薄型シンプル構造と高剛性の両立 高精度な位置決め 旋回中心自由設計 丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能 大形ステー
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超薄型・小型XYθステージ/XYθZステージ/球面軸受
Xyθステージ登場 高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型(高さ35mm)、小型(100mm×100mm)のコンパクトボディのXyθ(アライメント)ステージ 高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立~積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。 100mm×100mmの高精度アライメントステージ~小型ながら繰返し精度±1μmを達成。 旋回中心自由設定 超薄型シンプル構造と高剛性の両立 高精度な位置決め 旋回中心自由設計 丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能 大形ステー
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超薄型・小型XYθステージ/XYθZステージ/球面軸受
Xyθステージ登場 高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型(高さ35mm)、小型(100mm×100mm)のコンパクトボディのXyθ(アライメント)ステージ 高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立~積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。 100mm×100mmの高精度アライメントステージ~小型ながら繰返し精度±1μmを達成。 旋回中心自由設定 超薄型シンプル構造と高剛性の両立 高精度な位置決め 旋回中心自由設計 丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能 大形ステー
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超薄型・小型XYθステージ/XYθZステージ/球面軸受
Xyθステージ登場 高剛性・高精度を維持し、積み重ねでは実現できない超薄型(高さ35mm)、小型(100mm×100mm)のコンパクトボディのXyθ(アライメント)ステージ 高さ35mmの超薄型シンプル構造と高剛性の両立~積み重ね方式のXyθステージでは不可能とされる薄さを実現。 100mm×100mmの高精度アライメントステージ~小型ながら繰返し精度±1μmを達成。 旋回中心自由設定 超薄型シンプル構造と高剛性の両立 高精度な位置決め 旋回中心自由設計 丸型中抜き構造、角型額縁構造が可能 大形ステー
