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ESDイベントモニタ
ESD(静電気放電)発生に伴うノイズを検知し、静電気破壊の瞬間を捉えます。 ESDイベントを検知し、大きさ・回数を出力 動いている帯電体を検知 イオナイザーのイオンバランスをモニタリング イオナイザーの減衰時間を測定 上記すべてのデータをFMS・DAQに出力可能
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