駆動に解決策！　回転ムラなし　バックラッシなし　歯飛びなし　ウェハー、FPD搬送ロボットの駆動部ベルトに最適　高張力ステンレス鋼なので伸びは極小。　剛性が高いベルトなので大型ガラス基板の挙動が安定。　ステンレス鋼なので大気、真空環境でも使用できる。　剛性が高く高速応答性に優れる。　表面の微小な突起が相手部材にガッチリ食い込み高摩擦を実現！　基板がSUSなので破れない。

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まったく新しい、ラミネートタイプのベース用シム　従来品（全面装着）と異なり、端面のみを接着、簡単に剥離ができ、思い通りの板厚に調整！

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独自のジェット機構により、ワークから離れた位置より高精度に液を飛翔。　無気泡・無飛散快速ジェット　低粘度液剤を133ｄps高速吐出。　高いメンテナンス性を実現。　優れた静音化を実現。

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