インテグリスが新先端技術製造センターを開設

2011年5月19日マサチューセッツ州ビレリカ発 ：米国インテグリス社は本日、450 mm 半導体ウェーハのハンドリング製品と極端紫外線（EUV）レチクルポッドを生産するための先端技術製造施設を、コロラド州コロラドスプリングスに開設する計画を発表した。この新施設では、半導体産業における300 mm ウェーハから 450mm ウェーハへの移行に合わせて、ウェーハハンドリング製品を開発、製造する。計画中の施設は、40,000 平方フィートの敷地を有し、年内の操業開始を目指している。これにより、コロラドスプリングスにおけるインテグリスの製造設備がさらに拡張されることになる。