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製品詳細
光進電気工業(株)
高周波超音波洗浄処理システム
シリコンウエハー、フォトマスク表面の微細ダストをメガソニックで除去!
●最小0.1μmからのパーティクルを除去!
●ノズル噴射式、洗浄槽内投込み式、その他の洗浄処理システムをラインアップ!
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【所在地】〒152-0035東京都目黒区自由が丘1-20-19
【電話番号】03-5731-8800 【FAX番号】03-5731-8080
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