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製品詳細
(株)ティ・ケー・エムエンジニアリング
高精度非接触厚さ測定装置 OZUMA22
各種材料・ガラス・金属などの厚さ測定
■用途
半導体ウェハー(各種材料)・ガラス・金属などの厚さ測定
■特徴
・エアー背圧方式:比接触測定なのでキズ・コンタミなどのダメージを与えない
・膜付・色艶などの材質依存がない:簡単に高精度測定が可能
・水漏れ状態での測定が可能
・鏡面・透明・半透明でも問題なく測定可能
■性能 ・分解能:0.1μm
- (株)ティ・ケー・エムエンジニアリング
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【所在地】〒144-0045東京都大田区南六郷3-16-19
【電話番号】03-5480-2550 【FAX番号】03-5480-2551
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