高ダイナミック、超高安定性を誇るピエゾナノポジショナー

P-753 LISA（リニアステージアクチュエータ）高速ナノポジショナーはリニアアクチュエータ、およびステージの両方としてご使用頂けます。
【特徴】
○汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ
○分解能0.05nm、高速応答
○静電容量センサーによる高リニアリティ
○摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○真空対応および非磁性バージョンを用意