超高ガイド精度を誇る高ダイナミック、高安定性ピエゾスキャナ

極めて精密なP-752シリーズ高速ナノポジショニングステージは、最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、直進性が非常に高いことが大きな特徴です。
【特徴】
○分解能0.1nm、高速応答
○ストローク～35μm
○静電容量センサーによる高リニアリティ
○フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命