低価格のコンパクトなリニアポジショニングシステム

【特徴】
○コンパクト設計：設置面積わずか44 x 44mm
○ストローク～120μm
○分解能～0.2nm
○低コストの機構／電子システム構成
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○Zステージ、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意