ストロークの長い、コンパクトなナノポジショニングシステムシリーズ

単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。
【特徴】
○ストローク50～1800μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意