ダイレクト計測機能を備える高ダイナミックナノポジショナー／スキャナ

高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大4mradの範囲での位置決めが可能です。
【特徴】
○2軸および3軸バージョン（XYおよびXYθZ）
○ストローク～200μm
○サブナノメートルの分解能
○摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
○静電容量センサーによる高いリニアリティ
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○センター開口部 66 x 66mm
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命