振れを極限まで抑える、センター開口部付き高ダイナミックシステム

P-734高ダイナミックXYピエゾナノポジショニングステージは、サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、100 x 100μmのリニアストロークを実現します。
【特徴】
○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御
○パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御
○ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部
○静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命