最大偏向120mradの高速ステアリングミラー

【特徴】
○コンパクト設計
○光ビームの偏向～120mrad（～6.8°）
○同一平面回転軸と固定ピボットポイントが分極回転を回避
○ミラーは工場取り付け済み
○ミリセカンドの応答、0.5μradの分解能
○クローズドループ位置サーボコントローラにより高精度を実現
○直径最大12.5mm（0.5インチ）のミラー用
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○パラレル制御によるダイナミクスの向上と多軸の精密制御