大型のセンター開口部により高ダイナミクスを実現

P-5x8シリーズ、Z/チップ/チルトナノポジショナー／スキャナは、オープンフレームの高分解能ピエゾ駆動ステージで、最大240μmおよび2.4mradの動作範囲と、最大0.5nmおよび50nradの分解能を実現します。
【特徴】
○1軸および3軸バージョン
○クローズドループの垂直／チルトレンジ～200μm/2mradを実現
　（オープンループは～240μm/2.4mrad）
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○センター開口部66 x 66mm
○静電容量センサーによる高いリニアリティ