大型開口部を備える薄型XYナノポジショニングシステム

【特徴】
○薄型で組み込みが簡単：16.5mm、センター開口部80 x 80mm
○ストローク～200 x 200μm
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○高ダイナミクスを誇るダイレクトドライブバージョン
○センサーの選択が可能：歪みゲージ（低価格）または静電容量センサー（高性能）
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○ロングストロークの顕微鏡ステージとの組み合わせまたは、さらに長いストローク
○薄型で、顕微鏡検査アプリケーション用に最適化