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製品詳細
ピーアイ・ジャパン株式会社
PIHera高精度ステージ P-620.Z-P-622.Z型
ロングストロークが特徴のナノポジショニングシステムシリーズ
Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。
○垂直ストローク:50~400μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意
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【所在地】〒190-0012東京都立川市曙町2-38-5立川ビジネスセンタービル5F
【電話番号】042-526-7300 【FAX番号】042-526-7301
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