ピエゾフレクシャ駆動に基づく高精度6軸スキャニングシステムです。

【特徴】
○表面計測について、6軸すべてのスキャニングと位置決めが可能
○リニアストローク800 x 800 x 200μm
○最大8mradの回転レンジ
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○静電容量センサーでのダイレクト計測により優れたリニアリティを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○6軸すべてのアクティブ軌道制御