高ダイナミック大動作角のピエゾチップ／チルトプラットフォーム

S-330ピエゾチップ／チルトプラットフォームは高速でコンパクトなチップ／チルトユニットであり、2つの直交軸を中心としたトッププラットフォームの角度の動きを正確に実現します。


【特徴】
○分解能～20nrad、優れた位置安定性
○光ビームの偏向～20mrad（＞1°）
○パラレル制御設計によるダイナミクス、安定性、およびリニアリティの向上
○同一平面回転軸と固定ピボットポイントが分極回転を回避
○サブミリセカンドの応答
○直径最大50mmのミラー用
○リニアリティ向上のためのクローズドループバージョン
○優れた温度安定性