高速・薄型および大開口部・直接位置計測

【特徴】
○内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現
○ストローク：25×25mm
○分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵
○コンパクトな設計：断面高さ32mm、設置面積170×170mm
○センター開口部：78×78mm、66×66mm（最大拡大時）
○静止時に自動ロック
○PIピエゾナノポジショニング／スキャニングステージに適合