MEMSや光通信に最適なポジショニングシステム

耐荷重5kg
トラベルレンジ：34mm/42°
アクチュエータ分解能：40nm
最小インクリメンタルモーション：0.2μm
再現性：±0.1μm
ファイバー光学アライメント用スキャンアルゴリズム含む