高精度　三次元・非破壊計測

■汎用三次元検査装置　ＦＶＩシリーズ

多種多様な高さ／深さを高速高精度に検査

■酸化チタン膜厚検査装置　ＴｈＩＳ－５００１

反射率分光法を採用した高速高精度な非破膜厚検査