製品詳細｜プリズム製品・サービスを検索するサービス

製品詳細

（株）菱化システム

光干渉でディスプレイ業界を観る

FPD（フラットパネルディスプレイ）関連分野

3D表面粗さパラメータ ISO25178に準拠

【ユーザビリティに優れた解析ソフトを搭載】
光学顕微鏡ベースの汎用性に優れた計測システムVertScanなら、使いやすく「多機能」
「研究・開発・製造・品質保証」業務を効率よく信頼性の高いものに

【所在地】〒104-0033東京都中央区新川1-28-38東京ダイヤビル1号館7階

【電話番号】03-3553-6044 【FAX番号】03-3553-6046

パネル

・PDP リブギャップ
・液晶セルギャップ
・3Dディスプレイギャップ
・電子ペーパーセルギャップ
・ガラス表面打痕
・防眩性フィルム

部材

・光学フィルム
　（偏光板、接着層）
・樹脂材料
　（スペーサ、ガラス代替）
・ガラス表面粗さ、厚み分布
・有機膜段差

プロセス

・電極配線
・フォトレジスト表面、
　膜圧分布、残渣
・ブラックマトリクス
・カラーフィルタ
・フォトスペーサ
・誘電体膜圧分布
・ガラス再生残渣

インライン装置

・液晶フォトスペーサ
・ウエハ微細構造

非破壊・非接触で、表面形状を短時間で計測

光干渉方式の高速・高精度・高垂直分解能を生かし、計測・解析ソフトを一新したコストパフォーマンスに優れたシステム

高垂直分解能　0.01nm（Phaseモード）
最大視野　3.5×2.6mm
高精度：88nm 段差再現性　σ< 0.1% （Phase mode）

菱化システムでは小型機から大型インライン装置まで用途にあわせたシステムをご提供いたします。
中型機には菱化リニク干渉計の搭載が可能で、FPD前面ガラス下の表面・層断面計測が可能です。

幅広い分野で、広範囲の測定対象をカバーします。

VertScanでは、表面形状を多彩な機能で3D表示します。
マウス操作でXYZの角度を自在に変更することが可能で、任意の視点位置からの画像になります。
また、ライティング機能により、表面の微妙なテクスチャを表現できます。
さらに、リアルカラー画像を重ね合わせて表示することも可能です。

　・半導体、MEMS、その他電子分野　＞詳細はこちら
　・FPD（フラットパネルディスプレイ）関連　＞詳細はこちら
　・自動車関連など金属部品　＞詳細はこちら
　・医療・バイオ関連分野　＞詳細はこちら


	ウエハ上パターン		粒子コーティング		薄膜段差（広い視野）

プリズムグループサイト建築業専門の総合検索サイト「アークプリズム」