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製品詳細

（株）菱化システム

非破壊・非接触で、表面形状を短時間で計測

表面形状だけではなく、層構造も計測可能

豊富な機能を持ち、使いやすい解析ソフトウェア
コストパフォーマンスに優れた小型機から複数視野合成可能なXY自動ステージタイプまでラインアップ

先ずは無料デモ計測でお試しください。

【所在地】〒104-0033東京都中央区新川1-28-38東京ダイヤビル1号館7階

【電話番号】03-3553-6044 【FAX番号】03-3553-6046

	ユーザビリティに優れた解析ソフトを搭載
	光学顕微鏡ベースの汎用性に優れた計測システムVertScanなら、使いやすく「多機能」「研究・開発・製造・品質保証」業務を効率よく信頼性の高いものに

使いやすさに定評のあるVertScan 2.0を凌ぐ、
渾身の解析ソフト VS-Viewer 6を搭載

	「比較検討」	測定対象間、解析条件間の違いを並べて見出す
	「ISO規格」	3D表面粗さパラメータ ISO25178に準拠　可視化して確認する
	「結果出力」	パラメータシート・マクロ処理・バッチ処理　多数の高さデータを一括して高速解析処理

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高さ方向にスキャンした干渉画像を独自なアルゴリズムに基づき、「高さ情報」に変換します。

・	優れた高さ分解能：0.01nm（Sq分解能／Phaseモード）
・	高精度：標準段差再現性 σ< 0.1% (88nm段差測定時）
・	広い視野の低倍レンズでも、同様の高さ分解能と精度（横分解能はレンズの開口数に依存）

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測定光を透過する材料に対して、各界面からの干渉画像から「層構造の情報」を提供します。

・	層断面解析：分解能0.1μm（光学長＞1.0μmに適用）物理的に断面を作る手間が不要
・	屈折率差の小さい界面からの「弱い反射光」も見逃さないアルゴリズムを採用
・	干渉画像の再生が可能で、測定者以外でも画像情報を共有し、層構造の理解が深まる

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さらに「高さデータ」から、より知りたい「情報」を得るため、積極的に解析します。

・	「断面プロファイル」、「角度／法線」、「負荷曲線」、「フーリエ変換」、「微分」、「粒子／孔」、「バンド分解」、「うねり解析」、「顕微鏡画像」、「層断面」、「層面」、「LineSpace」、「ISOパラメータ」
・	Windows7　64bit OSを採用し、結果の表示までを高速化、ロングスキャンのキャプチャリングも可能に
・	解析のカスタマイズ：これまで喜ばれてきたこと。たくさんのご要望に対応した実績があります。

幅広い分野で、広範囲の測定対象をカバーします。

VertScanでは、表面形状を多彩な機能で3D表示します。
マウス操作でXYZの角度を自在に変更することが可能で、任意の視点位置からの画像になります。
また、ライティング機能により、表面の微妙なテクスチャを表現できます。
さらに、リアルカラー画像を重ね合わせて表示することも可能です。

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	ウエハ上パターン		粒子コーティング		薄膜段差（広い視野）

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