厳しい環境下でも高精度位置検出

1.真空中での高精度位置検出
80MPa　耐圧ステンレスロッド　
非接触・高精度（分解能：0.5μm）に計測　
最長7600mm　
複数位置同時計測可　
●液晶製造装置用　

2.超長尺20m+多位置計測タイプ　
真空中の搬送機器の位置検出に　
ワーク側はマグネットのみ（多位置可）でケーブル、リーダーは不要　
●搬送装置用　

3.サニタリータイプ液面計　
3Aスタンダード　SIP、CIP対応　
2液面+温度計測　

4.防爆対応タイプ　
ATEX本質安全、
ATEX・