プリズム

製品情報

製品詳細

株式会社ヒロテック

サファイア基板ウェットエッチング用石英バス 高温タイプ「Xe-Series」

プロセス装置 ウェーハ基板 製造設備/コントロールシステム

LEDサファイア基板向けウェットエッチ
最高300℃

・薬液温度：最高300℃
・接液部：全て石英
・排液用石英製アスピレター装備
・リカバリータンクおよびエマージェンシータンク装備

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株式会社ヒロテック

【所在地】〒103-0023東京都中央区日本橋本町１-１-3立石本町ビル6階

【電話番号】03-5200-2201 【FAX番号】03-5200-2212