厳しい環境下でも高精度位置検出

1.真空中での高精度リニアスケール　
80MPa耐圧ステンレスロッド　
非接触・高精度（分解能0.5μm）に計測　
最長7600mm、複数位置同時計測可　

2.粉塵、油が付着、また水中での高精度位置検出　防水性能IP68/IP69Kのハウジング　
耐圧10気圧で、多様な出力に対応　
ロッド部、ヘッド部ともにSUS304、またはSUS316L　

3.振動・衝撃のある機械での高精度位置検出　
耐振動30G,耐衝撃100G、分解能0.5μm　
繰り返し精度0.001％、応答速度10kHz　

4.防爆雰囲気での高精度位置検出　
ATEX本質安全防爆　
Zone　1/0で使用可能　
ATEX・TIIS耐圧防爆ロッドタイプ、プロファイルタイプに対応　

5.高温下での高精度位置検出　
ヘッド部（電気回路）まで全て105℃対応　
+ネットワーク対応（105℃以上はご相談下さい）