厳しい環境下でも高精度位置検出

1.真空中での高精度リニアスケール　
2.搬送機での多位置検出　
3.振動・衝撃のある機械での高精度位置検出
4.薬液・油液中での高精度位置検出　
5.高温下での高精度位置検出