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★現場で取り組んでおられる技術者、研究者の受講生に体系的知識、実践的知識を説明!
★ダイヤモンド薄膜、グラフェーン薄膜はどのようにして合成されるのか?

【講　師】東京大学　名誉教授、放送大学　特任教授、東京都市大学　客員教授　桂井　誠　氏

【会　場】総合自治会館　2階　第3会議室【神奈川・武蔵小杉】

【日　時】平成22年10月14日(木)　13:00～16:00

【定　員】30名　※満席になりましたら、締め切らせていただきます。早めにお申し込みください。

【聴講料】1名につき45,150円(税込、テキスト費用・お茶代含む)
10月4日までに初めてお申込いただいた新規会員様は早期割引価格⇒39,900円
◆同一法人より2名でのお申し込みの場合、69,300円


詳細確認またはお申込をご検討されている方は下記ＵＲＬをご覧ください ▼
http://ec.techzone.jp/products/detail.php?product_id=1053

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【講演主旨】
放 電プラズマの材料表面処理への応用は多岐にわたり、多くの製造現場において拡大しつつある。この技術を適用するにあたっては大気圧から低気圧まで幅広い圧 力領域における各種形式の放電プラズマが目的に応じて選択する必要がある。本セミナーでは、この分野に興味をもっている受講生に基礎となる放電プラズマ現 象についての理解を深めると同時に、現在、現場で取り組んでおられる技術者、研究者の受講生に体系的知識、実践的知識を説明するものである。

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【プログラム】

1.プラズマおよび材料表面についての物理と化学の基礎
1.1　気体の電離とプラズマの発生・維持
1.2　デバイ長とプラズマ周波数
1.3　シース形成と表面プラズマ現象
1.4　プラズマと材料界面での化学反応の特徴

2.放電プラズマ発生装置
2.1　大気圧熱プラズマ装置
2.2　大気圧非平衡プラズマ装置
2.3　低気圧グロー放電装置
2.4　高周波平行平板型プラズマ装置
2.5　高周波誘導放電プラズマ装置
2、6　マイクロ波放電プラズマ装置
2.7　その他のプラズマ発生装置

3.プラズマによる材料表面処理技術
3.1　材料表面状態の特性とその測定法
3.2　各種薄膜合成技術の例
3.3　半導体デバイス製造における活用
3.4　プラスティック表面処理への活用
3.5　自動車部品製造への活用
3.6　炭素系新素材薄膜合成への展開

4.質疑&応答
・非平衡プラズマとは何か。
・電子温度とはなにか。電子温度の制御はどうして困難なのか。
・グロー放電とアーク放電の違いはなにか。
・シース形成はどうして起こるのか。
・材料表面はどうして化学的に活性なのか。
・ダイヤモンド薄膜、グラフェーン薄膜はどのようにして合成されるのか。
・その他。


【質疑応答・名刺交換】