耐熱性、耐薬品性、耐摩耗性に優れた高純度SiCダミーウェーハ。

一般的な焼結法によるSiC とは異なり、焼結材（バ
インダー）や金属汚染の原因となる金型などを一切
使用せず、高純度のグラファイトから当社独自技術
の気相コンバージョン法によって直接SiC を生成し
ています。

【主な仕様】
材質：高純度シリコンカーバイト
ウェーハ径：100, 125, 150, 200, 300 mm
ウェーハ形状：フルラウンド、オリフラ、ノッチ
最高使用温度：1600 °C