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製品詳細
株式会社インネクスト
薄膜塗布装置
太陽 ヒーター/クーラー/チラー フラットパネルディスプレイ用装置 材料試験 表面処理技術/機器 超電導材料 その他素材/材料 ガラス 材料/素材 その他スリットコーター(薄膜塗布装置)
FPD、太陽電池、有機EL分野などに展開。
ノズルを用いてガラス基板にレジスト液(感光性の液体材料)を塗布する装置で、最先端レジストコーティングシステムです。スピンコーターに比べレジスト液の使用量を大幅に削減し、高いコストパフォーマンスを実現します。
スリットコーターの他、スピンコーター、洗浄装置、ベーク装置等も扱っております。
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【所在地】〒112-0001東京都品川区西五反田2-18-2
【電話番号】03-5759-6660
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