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製品詳細

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株式会社テクノビジョン

フォトマスク洗浄装置：TWシリーズ

スクラブ洗浄・リンス・乾燥を1台で実行

■■スモールサイズからラージサイズまで■■

テクノビジョンのフォトマスク洗浄装置は、スクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台で行いフォトマスクに付着したゴミや汚れを洗浄するマスククリーナーです。

弊社では多様なお客様からのご要望にお応えするため、スモールサイズからラージサイズまでの幅広いフォトマスクに対応した洗浄装置、TW-200、TW-300、TW-700、TW-1000をご提供しています｡

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株式会社テクノビジョン

【所在地】〒350-0165埼玉県比企郡川島町中山2078

【電話番号】049-299-1385 【FAX番号】049-299-1386

【URL】http://www.techvision.co.jp/

■ 特長

	■	ワークのスクラブ洗浄・リンス・乾燥を一台の装置でスピーディーに行う｡
	■	特殊洗浄ブラシにてワークに傷を付けず洗浄ムラなく精密洗浄を行う｡
	■	縦型処理の為、ワークにストレスがかからない｡
	■	少量多品種、Ｒ＆Ｄ用途の基板洗浄にも最適｡
	■	各サイズ専用ワークホルダーの用意とフリーサイズ対応ワークホルダーを用意。また、ワーク接触部分は､樹脂にて対応。


専用ワークホルダー	フリーサイズ用ワークホルダー	個別対応専用ワークホルダー

■ 用途

フォトマスク
半導体用、液晶用、有機ＥＬ用、カラーフィルター用、
薄膜デバイス用、ICパッケージ用、PWB用、PCB用、FPC用
その他、板状基板等洗浄可
■各オプション
界面活性剤供給ユニット、HEPA／ULPAユニット、イオナイザー、
ホットエアーナイフ、純水加熱ユニット

■ 縦型コンパクトタイプ

モデル TW-200型

対応サイズ	300mm×300mmまで
装置寸法	700mm（幅） ×900mm（奥行） ×1570mm（高さ）作業部高さ1040mm
作業高さ	1040mm
重　量	250Kg

モデル TW-300型

対応サイズ	360mm×460mmまで
装置寸法	1070mm（幅） ×700mm（奥行） ×1815mm（高さ）作業部高さ1200mm
作業高さ	1200mm
重　量	280Kg

モデル TW-700型

対応サイズ	620mm×720mmまで
装置寸法	1810mm（幅） ×880mm（奥行） ×1590mm（高さ）作業部高さ1240mm
作業高さ	1240mm
重　量	580Kg