膜厚分布150万点を同時に測定・可視化

最大１５０万点の膜厚分布を短時間で測定できる膜厚分布測定装置です。イメージング分光器 ＩｍＳｐｅｃｔｏｒ（インスペクター）を用いて、測定対象表面の薄膜の分光スペクトルを「面」として一度に測定し、画素ごとのスペクトルを独自アルゴリズムにより解析して膜厚の分布を高解像度かつ高精度に測定します。膜厚が「面」として観察できる特長を生かし、製造条件の違いによる膜厚分布の微妙な変化の把握や膜厚分布と製品性能の評価に、また、生産現場での製品の評価・検査に、広く活用できます。