リニアスライド型空気・油圧サーボ弁

トルクモーターのシャフトの先を偏心させてスプールを駆動し直接変位得ている。モーターを駆動するコントローラーは、指令位置信号と現在値のスプール位置センサーの信号を比較し、その偏差値をモーター駆動電流に変換し、スプール位置が指令値と一致するまで作動させる。バルブ一体型のものと別置きモジュールタイプの2種類がある。作動流体は空気または水及び油でも使用可能。