非接触ウエハ厚み・反り測定装置

上下のプローブセンサーにより、ウエハ本来の厚みを測定　　上下の白色光プローブにて、非接触測定　ウエハの状態（透明、反射、導電性有無、ポリッシュ有無、湿気有無）に影響せず　GaAs、GaN、SiC、サファイヤ、ガラスウエハの測定に最適　1台の装置にて、ウエハの厚み、TTV、TIR、BOW、WARP、平坦度の測定が可能　高速測定：最大100ポイント/秒　ウエハ両面を同時に測定し、ウエハの表面形状　TTV、反りを測定　　色の波長により焦点距離が異なる原理（クロマトコード）を用いて