ミニエン対応の先進コンセプト

SMIF PODに加え、8インチカセットも洗浄可能に　個別洗浄でクロスコンタミネーション防止　大容量ストッカーに10個までセット可能　　洗浄・乾燥・除電を全自動。純水ジェット洗浄、温風乾燥方式！　多量処理を可能にした独自のチャンバー構造　ウェハーカセット、ハードディスク、マスクケース等各種容器に対応