高い繰返し位置決め精度

接着フィルムPRECIMETにより取付け面への固定が簡単　SUPRADURによる目盛のため、目盛部分の汚れ耐性が優れている　ワンフィールドスキャニング方式による高い繰返し位置決め精度　明確な熱特性　スキャニングヘッドの取付け調整が容易　ホーミング機能とリミットスイッチ機能付き　真空対応可能