5種類の波長で、様々なサンプルが測定可能に。

405nm、436nm、546nm、577nm、630nmの5種類の波長を装備　解像力0.13μm、X、Y寸法測定再現性　0.02μm（3σ）　多層3D、形状測定、粗さ測定、膜厚測定、パッチワークなど豊富なソフトウェア機能を装備　カラー画像の取り込みは130万画素のR、G、Bの3フレームで高精彩を実現　床振動に強く、設置場所を選ばず、小型軽量で移動も容易　電動レボルバーを標準装備　電動Z軸操作ノブの採用