回転・往復動用PTFE製シール

往復、回転用に適する　ほとんどの流体・薬品に耐性がある　低い摩擦係数　温度の急変に対応可能　優れた耐傷性と寸法安定性　正確に作動しスティックスリップを起こさせない　ウェハ搬送装置内の冷却部分　半導体製造装置内（ドライエッチング）の水スイベルジョイント