高速・高分解能・高精度測定

様々な要求に多彩なバリエーションで対応。　極小センサーヘッドサイズ　12.7mm×20.57mm×8.38mm　絶対精度　最高+-2.1角度秒　リニア最高ロータリ最高5nm　0.019角度秒