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製品詳細
TOTO(株)
静電チャック/ボンディング・キャピラリー他
軸受 その他 材料組立 構成要素/部品 その他 締結部品 構成部品 ファインセラミックス ガラス半導体・FPDプロセスを支えるTOTOのセラミック商品
高い吸着力 ガラス吸着も可能 ファインピッチ35~100μm対応 エアベアリング単体から駆動、制御系を含めたシステム構造まで対応 □1300の1枚型セラミック、平面度5μm
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【所在地】〒253-8577神奈川県茅ヶ崎市本村2-8-1
【電話番号】0467-54-3670 【FAX番号】0467-54-1174
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