ナノポジシステム

駆動源に4つの圧電素子を採用した当社独自の尺取虫機構を採用。長い距離を滑らかに移動します。　粗動にマイクロメータヘッドを使用。手動ステージの操作感覚で10nmの微動送りができます。　ナノテクノロジーの分野で求められる超精密位置決め機構