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（株）日本レーザー

卓上型マスクレス・リソグラフィ装置“μPG501/μPG101”

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その他 加工 マーキング

卓上型で簡単な操作性のエントリーモデル

μPG501
　・高精度＆ハイスループット
　・描画速度：50mm2/分
　・最少描画サイズ1μm
μPG101
　・最もお求めやすい価格帯
　・最少描画サイズ0.9μm

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（株）日本レーザー

【所在地】〒169-0051東京都新宿区西早稲田２－１４－１

【電話番号】03-5285-0861 【FAX番号】03-5285-0860

【URL】https://www.japanlaser.co.jp/

製品選定でお悩みの際は、日本レーザーまでご連絡ください。　03-5285-0861

概要
μPG501ではLED光源で構成した縮小投影式の描画方式を採用し、快適な描画速度と低CoOを実現。μPG101はレーザー源を光源としたラスタ・スキャン・ライクな描画方式を採用し、お求めやすい価格ながらサブ・ミクロンの解像度を実現しました。

μPG501 主な機能とオプション
  • 最大描画エリア：125×125mm2
  • 最小描画サイズ：1.0μm
  • 最小アドレス･グリッド：50nm@1μm
  • 描画スピード： 50mm2@1μm, 100mm2@2μm（オプション）
  • 小さいフットプリント： 60×75cm2
  • トライアル用グレイスケール露光モード
  • アライメント用カメラシステム
  • 光源：高出力LED（10W, 390nm）, 高出力UVLED（10W, 375nm, オプション）
  • MOEMS（光MEMS）を使用した光学系統

μPG101 主な機能とオプション
  • 最大描画エリア：125×125mm2
  • 最小描画サイズ：0.9μm（最大描画エリア：90x90mm2）
  • 最小アドレス･グリッド：40nm@0.9μm
  • 描画スピード：90mm2@0.9μm, 90mm2@5μm, 35mm2@2.5μm, 5mm2@0.9μm
  • 小さいフットプリント： 60×75cm2
  • トライアル用グレイスケール露光モード（オプション）
  • ベクター･スキャン･モード（オプション）
  • アライメント用カメラシステム
  • レーザー源：LD（120mW, 405nm）, UVレーザー（70mW, 375nm, オプション）

◆日本レーザーの製品ラインナップ
パターン・ジェネレータ
生産用途
高速/高精細レーザー直接描画装置
“VPG200/400”
マスクレスをお考えの生産ラインに最適
・描画速度：1,050mm2/分@1μm解像度, 10,000mm2/分@4μm解像度
・最少描画サイズ0.75μm
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生産・開発用途
マスクレス・リソグラフィ装置
フラッグシップ・モデル“DWL2000/4000”
高速で高精度なステージ・システム、
光学系、制御系
R&Dから生産用途までをカバー
•最少描画サイズ0.5μm
•自動基板搬送機構も搭載可能
＞詳細はこちら
研究・開発用途
R&D用マスクレス・リソグラフィ装置
最上位モデル“DWL66+”
最少描画サイズ0.6μm。高精細な描画性能
多様な用途に対応可能
専門用途のグレイ・スケール露光機能の搭載
研究開発用途でフォトマスクの試作や直描を行うのに最適。
低価格かつ高精度なレーザー・リソグラフィシステム。
＞詳細はこちら
ラインナップ間の性能比較
用途 R&D用 生産
モデル μPG101 μPG501 DWL66+ DWL2000 DWL4000 VPG200 VPG400
描画エリア(mm□) 90 125 200 200 400 200 400
最少描画サイズ(μm) 0.9 1 0.6 0.5 0.75
描画速度@1μm(mm2/分) 5 50 39 170 1050 1200
グレー・スケール露光 トライアル用途 専門用途 未対応

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【パルスレーザー】
パルスファイバーレーザーredENERGY G4
高繰返しLD励起パルス固体レーザー（IMPACTシリーズ）
【インプリント】
UV式mini ナノインプリント装置 EUN-4200
熱式miniインプリント装置 EHN-3250
【粒度分布計測】
レーザー回折式　粒度分布測定（乾式・湿式） HELOS&RODOS

【ピエゾシステムイエナ社の光学機器〈アプリケーション例〉】
半導体分野 ／ 顕微鏡検査（採用例1） ／ 顕微鏡検査（採用例2）
顕微鏡アプリケーション向け製品 ／ ビームシャッター ／ 計量学 ／ オートフォーカス装置
ファイバー光スイッチ/マルチプレクサ
ピエゾ駆動光学マウント
ピエゾ駆動ステージ
NanoX 高速ポジショナ
スタックアクチュエータ

【SECOPTA社 LIBSシステム】
SECOPTA社 LIBSシステム（インライン向け）
SECOPTA社 LIBSシステム（ラボ用卓上タイプ）
SECOPTA社 LIBSシステム（超高速インライン向け）

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