製品特集詳細

(株)ティ・ケー・エムエンジニアリング

高精度非接触厚さ測定装置 OZUMA22

高精度非接触厚さ測定装置

【用途】
●半導体ウエハー(各種材料)・ガラス・金属などの厚さ測定

【特徴】
●エアー背圧方式:非接触測定なのでキズ・コンタミなどのダメージを与えない
●膜付・色艶などの材質依存がない:簡単に高精度測定が可能
●水濡れ状態での測定が可能
●鏡面・透明・半透明でも問題なく測定可能

【性能】
●分解能:0.1?

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