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炭化珪素
炭化珪素は他のファインセラミックスと比べ、軽量かつ強度が高い(1000℃以上の高温でも機械強度の低下が小さい)、かなりのポテンシャルを持つ構造材料です。優れた耐磨耗性を持つ、高荷重の使用条件でも厳密な寸法精度を保ちます。ダイヤモンドに次ぐ優れた硬度を持ち、耐熱性と化学的安定性を持つ事から、研磨材、耐火物、発熱体に使われ、半導体でもあるので、半導体製造部材用原料として幅広い分野で使用されております。
◆用途
一般研削砥石、研磨布紙、ラッピング&ブラスティング材料、一般耐火物、窯道具、焼結用原料、セラミックフィルター用母材、半導体製造装置用部品(ウェハーフォーク、ウェハーチャック等)、耐磨耗性部品(粉砕機ライナー)、耐熱部品(バーナーノズル等)、一般産業機械用部品(メカニカルシール、ベアリング等摺動部品等)、シリコン・インゴット或いはソーラーセルの切断に使うワイヤーソーの研磨材等。.
炭化珪素

窒化珪素
窒化ケイ素は、非常に硬質である事と、高強度、高剛性、耐摩耗性等優れた機械的特性を持つ非酸化物系セラミックスです。耐熱衝撃抵抗性に優れ、軽量で高温強度、耐食性、破壊靭性等の特性も持っています。

◆用途
切削工具、高性能ベアリング部品や、シャフト、軸受け等の機械部品;自動車のエンジン部品、ガスタービン部品、溶接機のトーチノズル等の熱機関部部品;耐磨耗部品、耐熱治具等一般産業部品;低発塵性を生かしたクリーンな環境を要求される半導体装置部品(突き上げ台、チャック、クランパー等)。

◆室町ケミカルの製品・事業
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